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多层复合透明导电薄膜研究进展

路万兵*, 蒋树刚, 王佩, 于威*, 刘啸宇, 武利平, 丁文革, 傅广生

河北大学物理科学与技术学院, 河北省光电信息材料重点实验室, 保定 071002

 
Key Words: 透明导电薄膜, 介质/金属/介质, 多层复合, 超薄金属薄膜, 柔性
 

Abstract

透明导电薄膜(TCF)兼具良好的导电性和透光性, 已作为电极被广泛应用于光电器件领域. 目前普遍使 用的透明电极主要是铟锡氧化物(ITO)和掺铝氧化锌等透明导电氧化物(TCO)薄膜, 但由于ITO的生产需要稀缺原 材料铟, 而其他TCO薄膜的导电性和可见光透明性尚需提高, 并且由于氧化物材料固有的脆性, TCO薄膜的柔性 较差, 不能完全满足当前柔性电子器件的发展需求. 因而, 对于具有优异性能的无铟、柔性TCF的研究近年来受到 研究者的广泛关注. 基于介质/金属/介质结构的多层复合TCF同时具有高的电导率、透光性以及良好的机械柔性, 可以满足目前柔性电子器件的应用需求, 而且其还具有功函数可通过选择介质层材料调节、可利用连续的卷对卷 技术室温下在廉价塑料衬底上沉积等独特优势, 因而更具实用价值. 本文简要综述了近几年基于介质/金属/介质 结构的多层复合TCF的研究工作, 首先分析了其透光率和面电阻对各层材料种类及厚度的依赖关系, 然后介绍了 多层复合TCF的结构类型, 接着讨论了改善其综合光电性能的技术, 最后分析了其在光电器件领域应用时应考虑 的其他重要性质.


 

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主管:中国科学院
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国内刊号:CN11-1784/N
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