场板结构与缺陷对沟道钝化α-IGZO薄膜晶体管综合效应的研究

《IEEE Transactions on Electron Devices》:Study of Combined Effect of Field-Plate Structure and Defects in Channel-Passivated a-IGZO Thin-Film Transistor

【字体: 时间:2025年12月09日 来源:IEEE Transactions on Electron Devices 3.2

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  研究漏极场板(FP)设计与活性层缺陷位置对通道隔离型非晶氧化铟镓锌(a-IGZO)薄膜晶体管(TFT)性能的影响。通过建立TCAD模型,分析不同缺陷位置对场效应迁移率、亚阈值摆幅和阈值电压的影响,发现FP可有效抑制缺陷引起的性能退化,且抑制效果与缺陷位置密切相关。

  

摘要:

本研究探讨了排水场板(FP)设计以及活性层不同位置缺陷对通道钝化(CHP)非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜晶体管(TFT)性能的综合影响。首先,基于制造出的CHP a-IGZO TFT的测量结果,建立了初始的TFT技术计算机辅助设计(TCAD)模型。随后,在a-IGZO层的不同位置引入缺陷。这些缺陷导致的性能退化包括场效应迁移率(<
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