通过波干涉抑制压电MEMS谐振器中的锚点损耗效应

《Journal of Microelectromechanical Systems》：Anchor Loss Suppression in Piezoelectric MEMS Resonator Through Wave Interference

【字体： 大 中 小 】 时间：2025年12月09日 来源：Journal of Microelectromechanical Systems 3.1