层状GaPS4高k介电材料:推动二维晶体管发展的关键突破
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时间:2025年10月15日
来源:Nano Today 10.9
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本文报道了层状GaPS4作为高性能二维晶体管(2D FET)栅极介电材料的重要突破。该材料展现出高达35的介电常数(high-k)、4.15?eV的宽带隙及2.95?μF/cm2的高电容密度。基于MoS2/GaPS4异质结构的场效应晶体管实现了1?nm等效氧化层厚度(EOT)、10?13?A的低栅极漏电流和3×108的高开关比,凸显其在二维电子器件中的巨大应用潜力。
层状GaPS4展现出卓越的介电性能:介电常数高达35,带隙超过4.15?eV,电容密度约2.95?μF/cm2。MoS2/GaPS4异质结构的能带对齐显示电子面临约1.92?eV的单极势垒,适用于高性能光电器件。
图1(a)展示了GaPS4的单斜晶胞结构,其层间通过硫原子弱相互作用连接,层间距为2.74??。理论计算表明,GaPS4与MoS2形成的范德华界面能有效保持沟道材料的本征电子特性。
本研究通过实验与理论结合,系统论证了层状GaPS4作为栅极介电层的优越性。其在MoS2晶体管中实现了1?nm等效氧化层厚度(EOT)、10?13?A的极低栅漏电流和3×108的高开关比,为二维半导体器件的集成提供了理想介电解决方案。
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