掺杂钼原子对AZO（MAZO）透明导电薄膜的影响

《Crystal Growth & Design》：Effect of Doping Mo Atoms on AZO (MAZO) Transparent Conductive Films

本研究通过高钼掺杂铝掺杂氧化锌薄膜，显著减少表面缺陷，提升结晶度和薄膜质量，增强光学透射率和电导率。Mo+5和+6价态形成共价键，优化晶粒结构，提高硬度、弹性模量等机械性能，实现低电阻率（2.355×10?? Ω·cm）和高透光率（89.0%），适用于光电及防护涂层。

　　

本研究探讨了高价钼（Mo）掺杂对铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜的光学、电学和机械性能的影响。通过加入适量的Mo，MAZO薄膜的表面缺陷显著减少，从而提高了结晶度和成膜质量。这些结构上的改进直接提升了薄膜的光学透射率。在MAZO薄膜中，Mo离子主要以+5和+6的高氧化态存在。每个掺杂的Mo原子向晶格捐赠多个自由电子，使得电导率显著提高。此外，高度极性的Mo–O共价键的形成以及晶粒结构的优化协同提升了薄膜的机械性能，包括硬度、弹性模量、耐磨性和抗蠕变性，从而提高了机械稳定性和使用寿命。最终制备出了具有优异光电和机械性能的MAZO薄膜，其电阻率为2.355 × 10^–4 Ω·cm，光学透射率为89.0%。这些发现展示了Mo掺杂AZO薄膜在高性能光电子器件和保护涂层应用中的潜力。