烯基/硫醇共功能化的钛氧纳米团簇实现了协同光刻技术，从而提升了分辨率和灵敏度

《ACS Nano》：Alkenyl/Thiol Co-Functionalized Titanium-Oxo Nanoclusters Enable Synergistic Lithography for Enhanced Resolution and Sensitivity

通过引入可交联烯基/巯基功能团，解决了钛氧簇光刻不灵敏的问题，实现了12.9nm高分辨率图案化，为钛氧化物纳米加工提供了新策略。

　　

氧化钛缺乏光刻反应性，这限制了它们在直接纳米图案化技术中的应用。通过逐步引入可交联的烯基和巯基，我们成功实现了单金属氧化钛簇（TOCs）的光刻应用并提升了其性能。具体而言，我们将光刻过程中不活泼的TOC中的2,2′-联苯替换为具有功能的木兰醇配体，从而利用电子束诱导的烯基聚合反应（将可溶性簇转化为不可溶的交联网络），提高了纳米图案化的效果。此外，进一步在烯基-TOC中引入巯基，形成了烯基/巯基复合簇。这种双重可交联基团的引入使得在曝光过程中能够发生巯基-烯基点击反应，增强了簇间的聚合作用，显著提高了TOCs的光刻灵敏度，所需曝光能量降低了70%以上（从烯基-TOC的>1000 μC/cm2降至烯基/巯基-TOC的<300 μC/cm2）。最终，利用烯基/巯基-TOCs制备出了分辨率为12.9纳米的高精度图案，这类金属氧化物簇光刻胶属于较高分辨率级别。本研究不仅报道了氧化钛材料的直接纳米图案化方法，还提供了一种逐步引入可交联基团的策略，以拓展其光刻应用潜力。