EPBT低温固化阳离子光敏树脂的合成与性能表征

《Journal of Applied Polymer Science》：Synthesis and Characterization of EPBT Low Temperature Cured Cationic Photosensitive Resin

本文通过合成含碳碳双键和双环氧基的(Z)-1,4-双环氧基甲氧基丁-2-烯（EPBT）单体，并采用自由基聚合制备聚（甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/N-苯基maleimide/EPBT/氧代甲丙烯酸酯）光敏树脂（PMMENL）。研究表明，PMMENL树脂的热分解温度达225°C，后固化温度降至150°C，粘结强度8MPa，优于传统230°C工艺。

　　

摘要

本文针对液晶显示器（LCD）光刻过程中在紫外光照射下烘烤温度过高（230°C）的问题，通过设计和制备一种低温固化的阳离子光敏树脂来解决这一问题。首先，采用Williamson醚合成法合成了含有碳-碳双键和双环氧基团的单体(Z)-1,4-双(氧杂环丁烷-2-基甲氧基)丁-2-烯（EPBT）。随后，通过多种单体的自由基聚合制备了聚（甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/N-苯基马来酰亚胺/(Z)-1,4-双(氧杂环丁烷-2-基甲氧基)丁-2-烯/氧杂环丁烷甲基丙烯酸酯）光敏树脂（PMMENL）。对EPBT单体及其聚合物的结构进行了表征，并研究了它们的性能。最后，将制备好的树脂与光引发剂、溶剂及其他成分均匀混合，并通过光刻工艺在掩模上形成微图案。分析了这些图案的分辨率和形态。结果表明，加入N-苯基马来酰亚胺后，树脂的热稳定性得到了提高，其热分解温度约为225°C（此时重量损失达到约10%）。与传统LCD光刻胶所需的230°C烘烤温度相比，含有EPBT单体的PMMENL树脂的烘烤温度显著降低至150°C，同时仍保持了8 MPa的粘附强度，这一强度与在230°C下烘烤的市售聚丙烯酸光敏树脂相当。

利益冲突

作者声明不存在利益冲突。