通过一种可大规模生产、高度依赖多参数的组合工艺，可以制备出具有复杂三维图案的氧化物薄膜物理认证标签

《Materialwissenschaft und Werkstofftechnik(Materials Science and Engineering Technology)》：Complex three-dimensional patterned oxide thin film physical authentication tags obtainable with a mass production scalable, highly multiparameter dependent combinatorial process

化学束气相沉积结合阴影 masks 技术制备多层氧化物薄膜身份标签，通过亚毫米级确定性图案和亚微米级随机生长实现唯一性与安全性，原型读取器基于多波长透射率检测。

　　

摘要

化学气相沉积结合使用阴影掩模是一种多功能的技术，可用于沉积具有特定图案和化学成分（包括厚度和成分层次）的氧化物薄膜。本文通过一个实际应用案例介绍了这种薄膜沉积方法及其相关成果，该案例中这些薄膜被用作连接设备的身份标签。该系统依赖于读取附着在物体上的标签的一种或多种材料属性，并将这些属性与安全的认证协议相结合。所测量的属性具有双重特性：一部分属性是确定性的，基于亚毫米级的图案（即，在知道标签的精确沉积条件后可以预测这些属性）；另一部分属性则是完全随机的，因为生长图案在亚微米级别上难以预测。这使得这些标签既可以作为标准的唯一标识符使用（需要预先注册），也可以通过比较一对标签（仅考虑确定性属性）来实现识别。由于每个标签涉及大量的沉积参数和属性，因此它们是独一无二的、无法被克隆的，并且能够有效防止逆向工程。文中还介绍了一种仅基于不同波长下薄膜透射率进行读取的原型系统。

财务披露

部分研究成果是由Eurostars 3项目资助的，该项目专注于锆钛酸铅的制备（项目编号1914 – CBVD-4-MEMS）；另一部分研究成果则由法国国家研究与技术协会（ANRT）部分资助，该项目与物理不可克隆功能的研究相关，项目编号为CIFRE n° 2020/1020。

利益冲突

作者声明不存在任何财务或商业利益冲突。