无结纳米线场效应晶体管(Junctionless Nanowire FETs)中可调压阻式传感性能的过程分析及低频噪声变化性估计

《IEEE Sensors Journal》:Process and Low-Frequency Noise Variability Estimation of Tunable Piezoresistive Sensing Performance in Junctionless Nanowire FETs

【字体: 时间:2025年11月20日 来源:IEEE Sensors Journal 4.5

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摘要:

本文设计并开发了一种可调谐的压阻式压力传感器,该传感器采用了无结纳米线(JL-NW)栅极全环绕(GAA)场效应晶体管(FET),并将其集成到圆形膜片上。测量结果显示,在亚阈值(SS)状态下,压阻灵敏度相比导通状态(<
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