MEMS陀螺仪非正交性的现场静态识别

《Journal of Microelectromechanical Systems》：In-Field Motionless Identification of the Non-Orthogonality of MEMS Gyroscopes

MEMS陀螺仪非正交性在线检测新方法，通过四象限电极轴分离静电激励和耦合传递函数模型实现无运动测量，实验表明12台设备平均残差仅0.011%且1σ偏差0.034%，为提升校准精度和性能奠定基础。

　　

摘要：

本文提出了一种基于模型的新方法，用于在现场确定MEMS陀螺仪的非正交性，而无需任何运动或复杂的优化过程。该方法利用正交电极进行轴分离的静电激励，并结合传递函数模型，从而实现精确的现场识别。来自12个MEMS陀螺仪研究设备的实验结果表明，该方法具有很高的精度：平均残差仅为0.011%，标准差偏差为0.034%，与在高精度速率表上的测量结果相比具有显著优势。这种无需运动的方法代表了重大进展，为改进MEMS陀螺仪的现场校准和非正交性性能提供了可能。[2025-0133]