接触式多晶格（CPP）缩放限制对硅栅极全环绕纳米片（GAA-NS）器件的影响

《IEEE Transactions on Electron Devices》：Contacted-Poly-Pitch (CPP) Scaling Limitations of Si Gate-All-Around Nanosheet (GAA-NS) Devices

【字体： 大 中 小 】 时间：2025年12月12日 来源：IEEE Transactions on Electron Devices 3.2