脆性半导体材料的温热金属加工塑性制造技术及其电子器件应用

【字体: 时间:2025年04月29日 来源:Nature Materials 37.2

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  为解决脆性半导体难以采用高效金属加工工艺的问题,来自未知机构的研究人员开展了温热金属加工(warm metalworking)技术研究。该团队发现Cu2Se等材料在400-500K温度下可实现~3000%延伸率,制备出载流子迁移率达5000 cm2 V?1 s?1的薄膜,其热电器件功率密度达54 μW cm?2 K?2,为半导体加工提供了新范式。

  

脆性半导体作为现代电子学的核心,传统依赖溅射(sputtering)或沉积(deposition)等复杂工艺。最新研究发现,通过温热金属加工(温度低于500K)可使Cu2Se、Ag2Se等材料展现惊人塑性,延伸率高达3000%!这种"热激活原子集体位移"机制,让半导体像橡皮泥般被轧制(rolling)、挤压(extrusion),制成微米级高质量薄膜。更妙的是,加工后的薄膜保持着体材料的优异特性:载流子迁移率维持5000 cm2 V?1 s?1高位,电导率可通过成分配比实现106量级调控。在热电薄膜器件中,这项技术创造出43-54 μW cm?2 K?2的标准化输出功率密度,为柔性电子器件制造开辟了新途径。

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