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为解决下一代高密度非易失性节能存储器应用中磁畴壁(DW)运动的控制问题,研究人员开展了 Ta/CoFeB/MgO 多层膜界面工程对 DW 运动影响的研究。结果发现退火会改变界面结构,增加钉扎中心,提高蠕变常数。这对精确控制 DW 运动意义重大。
在科技飞速发展的当下,电子设备对存储技术的要求越来越高。下一代高密度非易失性节能存储器成为了研究的热点领域。在这个领域中,利用磁畴壁(Domain Wall,DW)运动来实现数据存储和处理备受关注。然而,要让 DW 运动稳定且可控,却面临着诸多难题。例如,在一些多层膜结构中,DW 运动容易受到各种因素的干扰,导致运动速度不稳定、难以精确控制,这极大地限制了相关存储技术的发展 。为了解决这些问题,来自国内的研究人员开展了关于界面工程对具有垂直磁各向异性(Perpendicular Magnetic Anisotropy,PMA)的 Ta/CoFeB/MgO 多层膜中磁畴壁运动影响的研究。他们的研究成果对于推动下一代存储技术的进步具有重要意义,相关论文发表在《Applied Surface Science》上。
研究人员在开展研究时,运用了多种关键技术方法。首先,在样本制备方面,他们在室温、超高真空(4.5×10-8 torr)条件下,于 Si/SiO2 衬底上沉积多层膜 Ta 100/CoFeB 9/MgO 10/Ta 20(?),且在沉积前对每个靶材进行 15 分钟预溅射以确保清洁。其中,CoFeB(原子组成 Co:Fe:B = 40:40:20 )和 Ta 采用直流(DC)电源沉积,MgO 层则通过功率为 50 的射频(RF)溅射沉积。其次,使用真空热退火技术,在 100 - 250°C 温度范围内对样品进行处理。最后,通过多种表征技术对样品的结构和磁性能进行分析 。
下面来看具体的研究结果:
- 多层膜的磁滞回线:研究人员对原始多层膜的磁滞回线进行了研究。发现其面外配置(out-of-plane configuration)和 面内配置(in-plane configuration)的磁滞回线有所不同,面外配置曲线呈现出完美的方形回线,体现了多层膜结构中的垂直磁各向异性(PMA) 。这表明在原始状态下,多层膜具有良好的垂直磁各向异性特性,为后续研究退火对其影响提供了基础。
- 退火对多层膜的影响:通过实验发现,多层膜在 200°C 以下都能保持垂直磁各向异性(PMA)。化学分析显示,退火后硼向 MgO 扩散,形成了硼氧化物,同时 Co - O 键减少。这不仅抑制了垂直磁各向异性(PMA),还使矫顽力(coercivity)增加。另外,界面原子的运动引发了原子混合,形成了合金,结构的改变增加了钉扎中心,反映在磁畴壁(DW)粗糙度的增加上。而且,这种原子混合还使蠕变常数显著增加,突出了界面在控制磁畴壁(DW)动力学中的重要作用 。
在研究结论和讨论部分,研究人员发现热诱导的 CoFeB 界面混合能够改变 Ta/CoFeB/MgO 多层膜在蠕变区域(creep regime)的磁畴壁(DW)动力学。磁畴壁(DW)速度的降低与磁畴壁(DW)粗糙度的变化相关,说明退火促进了钉扎中心的形成,提高了薄膜的矫顽力。更重要的是,蠕变常数的增加与界面混合密切相关。虽然这可能会降低磁畴壁(DW)的运动速度,但却有助于更精确地控制磁畴壁(DW)的运动,这对于高精度自旋电子器件的运行至关重要。研究还发现,随着退火温度的升高,蠕变常数呈明显的增加趋势,这与界面扩散和钉扎机制的改善相吻合 。
综上所述,这项研究为理解退火诱导的界面改性与磁畴壁(DW)运动之间的关系提供了更深入的视角。以往的研究大多侧重于通过提高界面质量来加快磁畴壁(DW)的运动速度,而该研究强调了在稳定性和精度要求极高的系统中,控制钉扎的重要性。它为下一代高密度非易失性节能存储器应用中磁畴壁(DW)运动的精确控制提供了理论依据和实践指导,有望推动自旋电子器件领域的进一步发展,让未来的存储技术更加高效、稳定和精确。