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GaInAsP分离限制异质结-多量子阱激光二极管在亲水键合InP-Si衬底上的低阈值激射特性研究
【字体: 大 中 小 】 时间:2025年08月16日 来源:physica status solidi (a)– applications and materials science 1.9
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本期推荐:研究人员通过亲水键合技术将InP薄膜与Si衬底直接结合,系统研究了GaInAsP分离限制异质结(SCH)-多量子阱(MQW)激光二极管的激射特性。通过调控退火温度和InP膜厚优化键合工艺,显著降低空洞形成,实现了与InP衬底相当甚至更低的阈值电流密度,为硅光子学中III-V族光源的单片集成提供了新方案。
这项研究揭示了在硅基衬底上实现高效激光器的突破性进展。科研团队采用亲水键合(hydrophilic bonding)技术,像拼积木般将磷化铟(InP)薄膜精准嫁接在硅(Si)衬底上,打造出Ga1-xInxAsyP1-y分离限制异质结(SCH)-多量子阱(MQW)激光二极管。通过像烘焙蛋糕般精细调控退火温度曲线和InP薄膜厚度,成功将键合界面的"空洞缺陷"控制在纳米级——这些微小的空洞就像电路板上的"蛀洞",其面积占比、密度甚至形状角度都会显著影响激光器的起跳电流(threshold current density)。令人振奋的是,优化后的InP/Si基激光器竟展现出比传统InP衬底更优异的性能,这为硅光子学(silicon photonics)实现"光电融合"提供了关键拼图。就像在硅芯片上种出激光"花朵",该技术有望打破III-V族光源与硅基电路间的材料壁垒,为下一代光通信和集成光子芯片播下希望的种子。
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