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飞秒激光辅助局部电化学沉积:实现高效微纳制造与力学性能强化的创新策略
【字体: 大 中 小 】 时间:2025年08月22日 来源:INTERNATIONAL JOURNAL OF MACHINE TOOLS & MANUFACTURE 18.8
编辑推荐:
【编辑推荐】本研究提出飞秒激光辅助局部电化学沉积(FsLA-LECD)技术,通过激光-电沉积微区耦合调控传质、成核动力学及晶粒生长,实现15.47 μm3/s的沉积速率(提升3倍)和1.08 GPa的铜纳米孪晶结构屈服强度,为高性能微纳制造提供突破性解决方案。
飞秒激光辅助局部电化学沉积(FsLA-LECD)技术通过激光能量精准调控电沉积过程,突破传统扩散控制机制限制,实现效率与性能的协同提升。
采用0.5 mol/L CuSO4溶液为电解液,铜镀层硅片(0.5 mm厚)作基底,经钛/铜双层镀膜(15 nm/100 nm)和丙酮超声清洗预处理。
传统LECD技术受电化学极化和浓度极化制约,而飞秒激光通过以下途径实现突破:
马兰戈尼效应:激光诱导微区电解液流动,加速传质,沉积电流密度提升3倍;
阶梯式电流放大:脉冲激光调控沉积速率,实现纳米孪晶结构自组装;
晶粒演化调控:激光能量抑制枝晶生长,促进致密纳米结构形成。
点-面-体演化机制:
初始阶段:激光聚焦引发局部成核,形成高密度晶核;
垂直生长:择优取向晶粒在激光调控下定向生长;
三维成型:通过参数调控可制备竹节状、沙漏形等复杂异形结构。
FsLA-LECD的核心优势在于飞秒激光的时空精准控制:
时间维度:超短脉冲(10-15秒级)避免热累积;
空间维度:微米级光斑实现局部反应区能量精准投递。该技术为心血管支架、微创手术器械等医疗微型器件的高性能制造开辟新途径。
激光通过增强传质、调控成核、诱导纳米孪晶三重机制协同增效;
实现15.47 μm3/s的超快沉积与1.08 GPa级力学性能;
为生物相容性金属植入物等医疗应用提供新工艺范式。
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