基于飞秒激光三维纳米光刻的光纤尖端稳定玻璃微器件原位集成技术研究

为解决聚合物材料不稳定导致光纤集成微器件性能受限的难题，研究人员开发了基于飞秒激光3D纳米光刻的创新制备策略。通过优化硅氧烷材料和结构设计，将有机前驱体转化为稳定玻璃结构，实现了耐高温和有机溶剂的微型器件，为光纤集成无机功能结构提供了新思路。

　　

这项突破性研究展示了如何利用飞秒激光三维纳米光刻(3D nanolithography)技术，在光纤尖端原位构建稳定的玻璃微器件。通过精心设计硅氧烷(siloxane)材料配方和接触界面，研究人员成功将脆弱的有机结构转化为具有优异热稳定性的无机玻璃。这些微型器件不仅能承受高温考验，甚至在丙酮中长期浸泡也毫发无损。实验证明，这种创新方法制备的玻璃微器件在光学微系统中表现卓越，为开发新一代光纤集成功能器件（如生物传感器和成像探头）开辟了道路。特别值得一提的是，该技术通过巧妙利用界面张力和结构优化，确保了功能结构在退火(annealing)过程中的均匀收缩，从而实现了器件性能的精准调控。