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同轴圆柱构型中直流辉光放电的局部特性研究:非线性效应与电子温度变化的实验与理论分析
【字体: 大 中 小 】 时间:2025年09月06日 来源:Vacuum 3.9
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本文推荐:该研究通过Langmuir探针(Langmuir probe)技术对同轴圆柱构型中的直流(DC)辉光放电进行局部测量,结合非线性流体模型与高阶谱数值模拟,揭示了等离子体密度(ni)、电子平均能量(ωe)和电势(φ)的径向分布规律,为工业溅射(sputtering)和气体激光(gas lasers)等应用提供了理论优化依据。
Highlight
实验方法
直流(DC)辉光放电在氩气(Ar)环境中通过空心阴极构型(hollow cathode configuration)实现,采用同轴不锈钢电极(内为实心圆柱,外为空心圆筒),真空腔背景压力达10?2 mbar。通过针阀控制Ar流量,Langmuir探针沿径向移动测量等离子体核心参数。
理论模型
假设单原子惰性气体中,电离由电子-中性原子碰撞引发,同时考虑电子-离子复合。忽略磁场(magnetohydrodynamic effects),正离子通过弹性碰撞交换能量。模型引入非线性项与电子能量空间变化,突破了传统流体模型的简化假设。
结果
Langmuir探针重建的离子密度(ni)、电子能量(ωe)和电势(φ)分布显示:在气压与电压调控下,实验数据与理论预测及谱方法数值解定性吻合,证实了非恒定电子温度对等离子体结构的显著影响。
结论
该研究通过多尺度方法解析了同轴辉光放电的径向特性,为等离子体改性(plasma modification)和惯性静电约束(inertial electrostatic confinement)技术提供了新见解。
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