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基于MoTe2/h-BN/石墨烯浮栅晶体管的多功能非易失性存储器与神经形态器件研究
【字体: 大 中 小 】 时间:2025年09月06日 来源:Applied Materials Today 6.9
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(编辑推荐)本文报道了一种基于MoTe2/h-BN/石墨烯异质结构的浮栅晶体管(FG),兼具非易失性存储器(82.17%记忆窗口比、105开关比、3比特存储)与神经形态计算功能(3.96 fJ超低功耗突触行为模拟),并实现人工伤害感受器仿生和95.56%准确率的手写识别神经网络(ANN),为下一代智能存储-计算一体化系统提供创新解决方案。
亮点
本研究展示的MoTe2/h-BN/石墨烯(Gr)浮栅晶体管(FG)成功整合了非易失性存储与神经形态计算双功能。作为存储器时,其记忆窗口比高达82.17%,开关比达105,并支持9种存储状态(3比特)。在神经形态应用中,该器件能以3.96 fJ的超低功耗模拟兴奋/抑制性突触行为(STP/STD、LTP/LTD等),并精准复现生物伤害感受器的阈值、弛豫、无适应和敏化特性。基于该器件构建的人工神经网络(ANN)在MNIST数据集上实现95.56%识别准确率。
器件制备与表征
图1a展示了器件结构:2H-MoTe2为沟道,h-BN为隧穿介电层,Gr为浮栅,SiO2/p++ Si作为背栅。光学图像(图1b)显示各纳米片的堆叠情况,原子力显微镜(AFM)测得MoTe2、h-BN和Gr厚度分别为4.2 nm、8.5 nm和1.2 nm。拉曼光谱证实了材料的晶体质量。
结论
该FG晶体管展现出卓越的综合性能:存储器方面具有宽窗口比和稳定耐久性;神经形态方面实现生物级功耗的突触模拟和伤害感受功能。在ANN应用中表现出高识别精度,为下一代存算一体系统提供了新材料平台。
实验方法
器件采用机械剥离法制备二维材料(采购自泰州Sunano公司),通过PDMS辅助干法转移构建异质结,紫外光刻制备Au/Cr电极。电学测试使用半导体参数分析仪,神经形态行为通过脉冲序列调控实现。
作者贡献
张逸凡:实验设计、论文撰写;王立生:基金支持;黄子轩:数据可视化;邓文:项目管理;陈凤翔:论文修订与课题指导。
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