通过偏振投影干涉法测量薄膜的折射率和厚度

《Laser & Photonics Reviews》：Measurement of Refractive Index and Thickness of Thin Films Via Polarization-Projection Interferometry

偏振投影干涉法实现薄膜复折射率与厚度同步高精度测量，适用于超薄和双折射薄膜，并通过扫描电镜验证其可靠性。

　　

摘要

准确表征薄膜的复杂折射率（$\stackrel{～}{n}$）和厚度（$d$）对于推动光学和光子技术的发展至关重要。本文介绍了一种偏振投影干涉测量方法（PPIM），该方法能够通过透射测量同时高精度地获取薄膜的折射率（$\stackrel{～}{n}d$）。通过测量和分析透射光的振幅和相位，PPIM相比传统的椭圆偏振仪具有更高的准确性和鲁棒性，尤其是在测量超薄和双折射薄膜时。此外，所得厚度数据与扫描电子显微镜（SEM）的测量结果高度一致，进一步证明了PPIM的可靠性。凭借其高精度和多功能性，PPIM成为光学、材料科学和集成光子学领域中薄膜测量的强大而灵活的工具。

利益冲突

作者声明不存在利益冲突。