溶剂比例和热处理对BNT薄膜结构和介电性能的影响

《International Journal of Applied Ceramic Technology》：Influence of solvent ratio and thermal treatment on structure and dielectric properties of BNT thin films

研究不同加工参数对铋酸钠钛（BNT）多层薄膜结构和介电性能的影响。采用溶胶-凝胶法制备约300 nm厚度的六层BNT薄膜，溶剂比例（乙酸-水）影响层间质量和纯相BNT结构形成。此外，单层和多层热处理对物性和介电性能的影响也进行了分析。

　　

摘要

本研究探讨了不同加工参数对铋钠钛酸盐（BNT）多层薄膜的结构和介电性能的影响。采用溶胶-凝胶法制备了厚度约为300纳米的六层BNT薄膜，并通过旋涂工艺进行沉积。前驱体溶胶中溶剂比例（醋酸与水的比例）的选择对薄膜的物理性质以及纯钙钛矿BNT相的形成具有显著影响。此外，还研究了热处理对单层及多层薄膜的结构和介电性能的影响。