级联动量中继架构实现高数值孔径极紫外投影光学

《Nature Communications》：High-numerical-aperture extreme ultraviolet flat optics via a cascaded momentum relay

　　

摘要

高数值孔径极紫外平面光学受到陡峭边缘相位梯度欠采样的限制，这降低了相位保真度和大角度衍射效率。在此，我们介绍了一种动量中继架构，该架构将大波矢偏折分配至两个级联元件中。一个工作在 532 纳米的 4:1 缩比平台合成了 0.80 的有效数值孔径，实测第一暗环半径为 413.2 纳米，并在直径为 100 微米的视场内分辨了约 555 纳米的像面特征。我们进一步利用紧凑型氙激光等离子体源将该概念应用于 13.24 纳米。两块数值孔径约为 0.33 的菲涅尔区板协同合成了约 0.53 的有效数值孔径。在此，我们表明，级联动量中继提供了一条通往高数值孔径极紫外投影的紧凑路径，同时放宽了对每个元件施加的特征尺寸和空间采样要求。