摘要
碱金属原子气室是各种原子传感器（包括原子钟、原子陀螺仪、原子磁力仪、里德堡原子传感器等）的关键组件。随着这些原子传感设备的小型化和集成化趋势，迫切需要紧凑型碱金属气室，特别是高性能的微制造气室。综述了从玻璃气室到MEMS气室的发展历程。分析并总结了宏制造碱金属原子气室的键合方法，如阳极键合、金属薄膜热压键合、玻璃浆料键合、环氧树脂胶粘接和激光键合。还讨论了气室的碱金属填充技术，包括直接填充和蜡封装填充等物理方法，以及碱金属氯化物与BaN?反应的化学方法、RbN?和CsN?的紫外（UV）光分解法、富碱玻璃电解法和碱金属分配器的激光分解法。与传统气室尺寸相比，重点强调了具有长激光路径的气室，并讨论了相应的设计和实现过程。最后，分析了具有内抗弛豫涂层和钝化涂层的气室，以实现长反应时间和长寿命。
