激光辅助金刚石车削技术在氟化钙各向异性抑制中的应用 邢恩博、 薛金松、 杨荣标、 王明月、 周慧敏、 邢国辉、 李江龙、 荣佳敏、 文焕飞、 刘军 +1位作者

《Micromachines》：Laser-Assisted Diamond Turning for Anisotropy Suppression in Calcium Fluoride Enbo Xing, Jinsong Xue, Rongbiao Yang, Mingyue Wang, Huimin Zhou, Guohui Xing, Jianglong Li, Jiamin Rong, Huanfei Wen and Jun Liu + 1 author

　　

摘要

本文提出利用激光辅助切割技术，通过局部热软化来控制单晶CaF₂的脆性-塑性转变，从而降低其加工时的各向异性。纳米划痕实验表明，加热能够显著提高各个晶面的临界塑性切割深度，并减少不同晶面之间的差异。基于此，研究采用激光辅助超精密车削技术制备了表面粗糙度低于10纳米的CaF₂光学微腔，其最大品质因数可达约7.79 × 10⁷，同时显著降低了不同晶体取向带来的性能差异。研究表明，该方法能够有效促进每个晶面上的均匀塑性流动，为高性能且一致性良好的各向异性脆性光学元件的制造提供了一种有效途径。