更正:“用于电子光子系统集成应用的室温高性能InP/Si表面活化晶圆键合技术”

《ACS Applied Electronic Materials》:Correction to “Room-Temperature High-Performance InP/Si Surface-Activated Wafer Bonding for Electronic-Photonic System Integration Applications”

【字体: 大 中 小 】 时间:2026年04月30日 来源:ACS Applied Electronic Materials 4.7

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  在本文的原始版本中,图8在排版过程中被过度缩小,导致图中的部分文本显示不正常。为了进行修正,这里提供了放大后的版本。这一更改不会影响研究的整体结论,并已得到作者的批准。图8图8。在200 kV电压下,使用高分辨率透射电子显微镜(HRTEM)拍摄的InP/Si键合界面图像,放大倍数

  

在本文的原始版本中,图8在排版过程中被过度缩小,导致图中的部分文本显示不正常。为了进行修正,这里提供了放大后的版本。这一更改不会影响研究的整体结论,并已得到作者的批准。

图8

图8。在200 kV电压下,使用高分辨率透射电子显微镜(HRTEM)拍摄的InP/Si键合界面图像,放大倍数为500倍。(a) 样品#2,选取的部分区域经过FFT分析。InP部分(上半部分)的晶格发生了膨胀,而Si晶格基本保持不变。(b) 样品#5,选取的InP部分区域经过FFT和IFFT分析。在这种情况下,InP和Si的晶格与其各自的标准值非常吻合。

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