用于纳米级不对称轴偏移的差分涡旋光束干涉测量技术 陶媛（Tao Yuan） 刘吉（Ji Liu） 张博阳（Boyang Zhang） 吴金辉（Jinhui Wu） 张一曼（Yiman Zhang）

《Photonics》：Differential Vortex Beam Interferometry for Nanometric Asymmetric Shaft Misalignment Tao Yuan, Ji Liu, Boyang Zhang, Jinhui Wu and Yiman Zhang

　　

摘要

本文提出了一种结合了DenseNet-169的错位差分涡旋光束干涉仪（MD-VBI），用于高精度的非对称轴对齐。该系统采用偏振复用差分配置，将纳米级的位移线性转换为干涉条纹的旋转。基于光学架构对共模热漂移的固有抑制能力，DenseNet-169模型作为强大的解调后端，进一步减轻了系统级光学噪声，从而精确地解码干涉图中的错位特征。实验结果显示，在0–500纳米的范围内，平均绝对误差（MAE）为0.382纳米。通过将真实的非对称轴错位与系统固有噪声和共模漂移分离，该系统为实际条件下的纳米计量提供了一种稳健的非接触式解决方案。