用于纳米结构测量的宽带极紫外零阶散射技术

《Nature Communications》：Broadband extreme ultraviolet zeroth order scatterometry for nanostructure metrology

　　

摘要

在纳米制造过程中，关键尺寸的持续缩小要求使用具有相应分辨率的纳米计量技术，而这可以通过使用短波长光源来实现。大多数工业计量技术采用周期性结构来进行过程控制，利用衍射来检测实际器件结构的制造质量。在这里，我们介绍了一种基于桌面设备的高次谐波产生极端紫外散射测量方法，该方法采用宽带照明。我们的方法利用了极端紫外光的光谱分辨的0阶衍射现象：虽然这种衍射现象缺乏空间编码信息，但它携带了宝贵的光谱信息，并且具有较高的衍射效率。通过使用相对反射率，无需进行绝对校准；严格的耦合波分析模拟为基于库的重建方法提供了支持，从而实现了对沟槽高度的单纳米级精度以及对关键尺寸的10纳米级精度。我们的工作展示了这种宽带极端紫外高次谐波产生0阶衍射测量技术，它能够快速、可靠且无损地测量具有波长特征的结构，对于远低于衍射极限的细节提供了足够的灵敏度和精度。