引言
半导体行业在推动技术进步和经济增长方面发挥着关键作用[1]、[2]。由于芯片是电子设备的基本组成部分,其质量直接影响产品的性能、可靠性和使用寿命——尤其是在智能手机、笔记本电脑和智能家电等消费电子产品中。芯片制造过程中的表面缺陷可能由材料质量、环境因素和生产过程等因素引起[3]。诸如划痕、污染、引脚缺陷和封装断裂等缺陷会严重损害最终消费电子产品的性能和产量。与金属和塑料等传统平面材料不同,半导体芯片由于其多层结构和复杂的电路图案而面临独特的挑战。芯片上的缺陷通常是微小的、不规则的,并且由于尺寸和周围电路的复杂性而难以检测。尽管这些缺陷很微小,但它们可能会显著影响电子设备的功能和可靠性。鉴于芯片在现代电子产品中的关键作用,即使是最微小的缺陷也可能导致产品故障,这突显了需要高度精确和可靠的检测方法。如图1所示,芯片表面缺陷具有多种形式和特征,因此有效的缺陷检测对于确保高质量的芯片生产和可靠的消费电子产品至关重要[4]、[5]、[6]。
芯片缺陷的示例:(a) 划痕缺陷,(b) 引脚缺陷,(c) 污染缺陷,(d) 封装缺陷。


