淋浴头喷嘴出口几何退化对蚀刻设备工艺特性影响的评估：多物理场分析方法

《Applied Sciences》：Evaluation of the Effects of Geometric Degradation of the Showerhead Nozzle Exit on Process Characteristics in Etching Equipment: A Multiphysics Analysis Approach

　　

推荐应用

所提出的微气泡喷雾配置为分散式水产养殖系统中的氧气传输提供了一种节能的方法。

摘要

本研究使用一种低成本的微气泡喷雾系统，在受控的水动力条件下研究了水产养殖中的氧气传输问题。实验在缺氧条件下进行（初始溶解氧浓度为2.4 mg L^?1），并通过动态方法评估了氧气传输动力学。溶解氧浓度在1小时内增加到6.2 mg L^?1，相应的净氧气传输量为9.55 ± 0.46 g。体积质量传输系数（kLa）确定为1.44 h^?1（R² = 0.97），特定氧气传输效率（SOTE）达到76.4 ± 7.8 gO₂ kWh^?1。无量纲分析（Re ≈ 2 × 10⁴, Sc ≈ 500, Sh ≈ 682）表明该传输过程属于湍流主导的对流传输模式。生物学观察显示，在喷雾辅助条件下鱼类生长速度提高了43%，表明氧气供应得到了改善。观察到的氧气传输增强主要与水动力界面面积的增加有关，而非扩散限制作用。该系统的低功耗配置和简化设计表明其具有应用于分散式水产养殖的潜力。所提出的方法还为评估水产养殖条件下的低成本曝气技术提供了工程框架。