利用深度学习进行相位解缠,结合波长调谐干涉术实现表面形貌测量

《Applied Sciences》:Phase Unwrapping via Deep Learning for Surface Shape Measurement by Using Wavelength-Tuning Interferometry

【字体: 大 中 小 】 时间:2026年07月05日 来源:Applied Sciences 2.5

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   摘要

  

摘要

在光学计量领域,波长可调干涉仪被广泛用于获取被测物体的相位信息。由于存在模2π运算,提取出的相位本质上会被限制在?π到π的范围内,因此需要通过相位解包来恢复真实的相位分布。然而,传统的相位移位方法存在诸多问题,如相位移位校准误差、耦合信号、大气湍流以及测量噪声等因素都会导致其精度较低。为解决这些问题,本文提出了一种基于深度学习的相位解包方法,该方法利用深度卷积神经网络将相位解包任务转化为多类分类问题。所提出的方法采用编码器-解码器残差网络(ResNet)架构,将相位解包视为逐像素的语义分割任务,从而实现端到端的连续相位重建。此外,该方法还采用了基于2N ? 1算法的数据集生成策略,无需依赖泽尼克多项式表示,即可有效抑制相位移位校准误差和谐波耦合误差。同时,通过大规模数据增强处理(将训练样本数量扩大16倍,达到20,992个),提升了网络的泛化能力和抗噪声能力。定量实验结果表明,在无噪声条件下,该方法的相位解包准确率为100%;而在存在严重噪声的情况下(标准差为1.5),其准确率仍可达99.03%,这一性能远远优于在相同条件下的质量引导法(QG,69.87%)和强度传输方程法(TIE,77.53%)。在利用波长可调干涉仪获取的实际干涉数据中,即便在噪声极大的情况下,该方法也能成功解包相位,而传统方法则完全无法做到这一点。这些结果充分证明了该方法具有出色的抗噪声能力,有望在高精度光学计量领域得到应用。
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