一种用于快速在显微镜下识别二维材料的轻量级模型

《Materials Science in Semiconductor Processing》:A lightweight model for rapid microscope-side layer identification of two-dimensional materials

【字体: 时间:2026年07月19日 来源:Materials Science in Semiconductor Processing 5.2

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  摘要快速且准确地识别二维材料中的厚度区域,尤其是单层区域,对于研究其量子及光学性质至关重要。传统的表征技术,如原子力显微镜和拉曼光谱,往往耗时较长、需要专用仪器,且结果受操作者影响较大。在此,我们提出了RepELA-Net,这是一种轻量级的分割网络,可用于高效识别二维材料中的层厚

  

摘要

快速且准确地识别二维材料中的厚度区域,尤其是单层区域,对于研究其量子及光学性质至关重要。传统的表征技术,如原子力显微镜和拉曼光谱,往往耗时较长、需要专用仪器,且结果受操作者影响较大。在此,我们提出了RepELA-Net,这是一种轻量级的分割网络,可用于高效识别二维材料中的层厚区域,包括单层、少层和多层区域。该模型基于编码器-解码器架构,在包含172张不同厚度二硫化钼片的光学显微镜图像的数据集上,实现了84.64%的平均交并比,且仅有212万个参数。在公共的WS?、石墨烯和二硫化钼数据集上的迁移学习实验进一步证明了其在不同材料间的泛化能力。该模型还被部署在显微镜端的本地推理平台上,用于二硫化钼的分割与可视化。本研究展示了RepELA-Net在快速二维材料表征方面的潜力,为基于光学显微镜的自动化材料分析提供了可行途径。

引言

二维材料因其原子级的厚度、较弱的层间范德华相互作用以及可调控的能带结构,展现出诸多独特现象,如谷度自由度、单光子发射以及强烈的激子效应[[1], [2], [3], [4]]。这些特性使得二维材料可应用于柔性电子、集成光电子学、传感以及异质集成电路等领域[[5], [6], [7], [8], [9]]。尤其是对于过渡金属硫属化合物而言,层数会显著影响其能带结构、激子动力学以及载流子传输特性;因此,准确的层识别是进行物理性质分析和器件制备的前提[10,11]。
制备二维材料的常用方法包括机械剥离[12]、物理气相沉积(PVD)[13]和化学气相沉积(CVD)[14]。其中,由于操作简单且能够获得高质量的单层及少层片材,机械剥离在实验室研究中仍被广泛使用[12]。无论样品是通过剥离还是可控生长获得的,可靠的层表征对于样品选择、工艺优化以及器件制备都至关重要[15]。拉曼光谱[16]和原子力显微镜(AFM)[17]能够高精度地测定层厚度与质量。然而,这些技术需要昂贵的仪器、相对较长的测量时间,且依赖经验丰富的操作者,这限制了它们在高通量筛选和现场表征中的应用。相比之下,光学显微镜操作快捷、成本低廉,还能利用层依赖的光学对比度初步区分单层、少层和块状区域[[18], [19], [20]]。不过,人工检测效率较低,且易受照明条件、对比度以及操作者技能的影响。
近年来,机器学习和深度学习方法被引入到二维材料的光学图像分析中,用于层识别、分割及表征[[21], [22], [23], [24], [25], [26]]。数据驱动的模型可以减轻人工筛选的负担,提高厚度识别的一致性。近期研究还探索了轻量级、实时且高效的数据处理方法,用于二维材料的自动光学分析[[27], [28], [29]],包括轻量级的层识别模型、实时片材筛选平台以及基于颜色特征的层数识别方法。尽管取得了这些进展,但在光学对比度较弱、层间边界模糊的情况下,实现共存的单层、少层和多层区域在像素级上的精确分离仍然具有挑战性。现有的分割方法往往依赖于参数量较大的通用架构,或者主要针对离线精度进行评估,对显微镜端本地部署的考虑较少。此外,有限的标记数据也可能限制其性能[30,31]。在样本数量较少的情况下,这类模型可能无法识别出薄层区域,导致边界模糊,且在不同材料间的泛化能力较差[22,[24], [25], [26]]。
在本研究中,我们提出了RepELA-Net,这是一种轻量级的编码器-解码器网络,可用于二维材料在像素级上的层识别,同时还配套了用于本地推理和交互式可视化的显微镜端平台。较浅层的RepConv模块能够保留局部对比度和边缘信息,而更深层的ELA模块则可捕捉弱对比度层区域的整体特征。在解码器中,W-MSF模块整合多尺度的语义信息和空间特征,BE模块则在预测前优化弱层间边界。RepELA-Net设计旨在以较低的参数量识别出单层、少层和多层二硫化钼区域,同时具备较强的抗非可控照明变化能力。在石墨烯、WS?以及独立的二硫化钼图像上的迁移学习结果表明,该模型具有跨材料的泛化能力,是实现显微镜端快速层识别的理想轻量级解决方案。

章节节选

二维材料的制备与表征

块状二硫化钼单晶购自荷兰的HQ Graphene公司。这些晶体是使用无硅胶的粘合塑料膜(Ultron Systems,通常称为蓝色胶带)通过机械剥离方式获得的。剥离后的片材随后被转移到聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底(PF-30-X4-17mil)上。该PDMS基底的尺寸为1厘米×1厘米,厚度约为430微米。详细的制备步骤见补充材料中的图S1a。所有

RepELA-Net概述

图1(a)展示了RepELA-Net的整体架构。该网络由一个用于分层特征提取的编码器和一个用于恢复空间分辨率并生成预测结果的解码器组成。编码器由浅层可重参数化卷积模块(RepConv)和高效的局部注意力机制(ELA)构成,二者共同用于从局部纹理逐步提取出从低级到高级的特征。解码器则负责将高级语义信息重新还原到

结论

本研究提出了一种轻量级的语义分割网络——RepELA-Net,用于在二维材料的光学显微镜图像中进行高通量的厚度识别。该模型在编码器中结合了可重参数化卷积和高效的局部注意力机制,同时在解码器中加入了加权多尺度融合与边界增强功能。这样的设计使得该模型能够识别出各层之间细微的光学差异,从而实现精细的层分割。实验

CRediT作者贡献说明

唐柯:概念构思、数据整理、形式分析、方法设计、验证、可视化、初稿撰写、审稿与编辑。程文龙:研究工作、指导监督、审稿与编辑。詹卓亮:数据整理。舒浩宇:研究工作。王梦珍:研究工作。毕克东:指导监督、审稿与编辑。

利益冲突声明

作者声明不存在任何可能影响本文研究工作的已知财务利益或个人关系。

致谢

本项工作得到了中国国家自然科学基金(编号:52127811)、江苏省高校青蓝工程以及江苏省高校科研计划的资助。
唐柯|程文龙|詹卓亮|舒浩宇|王梦珍|毕克东
中国南京,东南大学机械工程学院,精准医疗装备设计与制造江苏省重点实验室,邮编211189
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