用于类脑计算系统的灵活可靠的CuxO基忆阻器

《Materials Science in Semiconductor Processing》:Flexible and reliable CuxO-based memristors for neuromorphic computing systems

【字体: 大 中 小 】 时间:2026年07月22日 来源:Materials Science in Semiconductor Processing 5.2

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  摘要由于在可穿戴电子和智能传感等新兴领域具有广阔的应用前景,灵活的神经形态硬件引发了大量研究兴趣。然而,目前大多数基于CuxO的器件都是在刚性基底上制造的,这严重限制了CuxO在柔性忆阻系统中的实际应用。本研究提出了基于CuxO薄膜的柔性忆阻器,用于构建神经形态计算系统。这些IT

  

摘要

由于在可穿戴电子和智能传感等新兴领域具有广阔的应用前景,灵活的神经形态硬件引发了大量研究兴趣。然而,目前大多数基于CuxO的器件都是在刚性基底上制造的,这严重限制了CuxO在柔性忆阻系统中的实际应用。本研究提出了基于CuxO薄膜的柔性忆阻器,用于构建神经形态计算系统。这些ITO/CuxO/ITO器件是在柔性基底上制备的。我们在8毫米、16毫米和24毫米的不同弯曲半径下对这些器件进行了电学特性测试。测试结果表明,在8毫米和16毫米的弯曲半径下,这些器件表现出稳定的双极电阻切换行为以及良好的器件均匀性,同时还具备较高的开/关电流比(大于10)以及可靠的设置/重置电压。值得注意的是,在8毫米的弯曲半径下,20个随机选取的记忆单元的设置电压和重置电压呈现出集中的统计分布,这说明它们的切换特性稳定且具有重复性。在该弯曲半径下,这些器件能够成功模拟关键的突触功能,包括长时程增强/抑制(LTP/LTD)、成对脉冲促进/抑制(PPF/PPD)以及脉冲时序依赖性可塑性(STDP)。我们还利用基于MNIST的卷积神经网络架构对手写数字和图像数据集进行了模式识别测试,其识别准确率分别达到了94.22%和85.71%。这些结果充分体现了基于CuxO的柔性忆阻器在构建柔性神经形态计算系统方面的巨大潜力。

引言

随着人工智能、大数据、云计算以及下一代无线通信等现代技术的快速发展,人们对计算系统的要求也越来越高[[1], [2], [3], [4]]。未来的计算系统需要具备高速处理能力、低功耗以及高集成度。而传统的冯·诺伊曼架构则存在着诸多限制[5,6],在这种架构中,处理单元和存储单元是物理上分开的[7],这样的设计导致了诸如高功耗、数据传输延迟长以及可扩展性差等问题。随着数据量的急剧增长,这些问题愈发严重。为了解决这些难题,忆阻器受到了众多研究者的关注。忆阻器能够在单个器件中实现数据存储与计算的整合,它们支持计算在内存中进行的架构,从而突破了传统架构的种种局限[8,9]。忆阻器还具有许多优异的特性,包括非易失性电阻切换、快速的切换速度[10,11]、低功耗以及可调节的突触可塑性[[12], [13], [14], [15]]。正是这些特性使得忆阻器成为下一代非易失性存储器、计算在内存中运行的电路以及类脑神经形态计算系统的理想候选者[16,17]。因此,忆阻器的研究已成为现代微电子技术和智能计算领域的重要研究方向之一[[18], [19], [20]]。
此外,可穿戴电子设备、柔性显示器以及植入式医疗设备的飞速发展,也对电子系统提出了新的需求[[21], [22], [23]]。这类电子系统需要具备抵抗机械变形的能力,并能在保持高性能电学特性的同时持续稳定运行,这一需求推动了柔性电子设备的快速发展。这类设备能够适应弯曲、粗糙以及不规则的表面,同时在弯曲、扭转和拉伸过程中也能保持稳定的电学性能[[24], [25], [26], [27], [28]]。
近年来,有许多研究致力于开发用于柔性忆阻器的功能层材料。由于成本较低且操作简单,溶液加工方法在柔性电子领域得到了广泛应用,这也使得基于溶液加工的忆阻器取得了显著进展[29,30],相关研究也不断发展[[31], [32], [33]]。近期关于溶液加工法制备CuxO薄膜的研究为制造柔性CuxO器件提供了有益的参考[34,35]。不过,目前几乎所有的基于CuxO的忆阻器都是制作在玻璃和硅片这类刚性基底上的。而且,大多数关于用于模拟突触功能和实现神经形态计算的柔性CuxO器件的研究,仍然是在平坦或无机械应力的条件下进行的。除此之外,还有一些关键问题亟待解决,比如不同周期之间以及不同器件之间的性能差异、大规模阵列中的可靠性问题、反复弯曲带来的机械疲劳问题,以及溶液加工薄膜的可重复性不足问题。这些难题都严重阻碍了基于CuxO的器件在柔性忆阻系统中的实际应用。
在本研究中,我们开发了一种兼具灵活性和可靠性的基于CuxO的忆阻器,用于构建神经形态计算系统。该器件是制作在柔性云母基底上的,其CuxO活性层是通过溶液旋涂以及后续退火工艺制备的,而上下层的ITO电极则是通过磁控溅射技术沉积而成的。在不同弯曲状态下,这种忆阻器都能展现出稳定的双极电阻切换特性以及出色的器件均匀性。在8毫米的弯曲半径下,它还能够成功模拟包括LTP/LTD、PPF/PPD以及STDP在内的典型突触特性。在相同的弯曲条件下,它在模式识别任务中也展现出了较高的识别准确率。这些研究成果充分表明,基于CuxO的柔性忆阻器在未来的可穿戴电子设备和智能传感系统中具有巨大的应用潜力。

章节节选

实验部分

首先将云母基底切割成1.5×2平方厘米大小的碎片,然后对其进行30分钟的超声清洗,之后在氮气气流中将其烘干。下层的ITO电极是通过磁控溅射技术沉积而成的。我们还在去离子水中准备了浓度为0.3M的Cu(NO3)2·3H2O前驱体溶液,其中加入了0.1克的PVP作为粘结剂。接着将这种溶液以3000转/分钟的速度旋涂在ITO/云母基底上,涂覆时间为30秒。随后将这些样品在氩气环境下于400摄氏度下加热30分钟,以此形成CuxO薄膜。而上层的ITO电极则是通过厚度为300微米的

结果与讨论

为了分析CuxO薄膜的成分和结构,我们使用扫描电子显微镜和X射线光电子能谱对样品进行了表征。图1a展示了CuxO薄膜的截面扫描电子显微镜图像,可以发现该薄膜的厚度大约为57纳米,其形态平滑且连续。图1b则显示了该样品的Cu 2p XPS光谱,其中在962.14电子伏特、943.70电子伏特以及941.10电子伏特处检测到了三个卫星峰,这些峰是Cu2+的特征信号[35,36]。经过去卷积处理的Cu 2p XPS光谱进一步证实了

结论

本研究通过展示一种兼具高性能、可靠性以及突触功能的基于CuxO的忆阻器,推动了柔性神经形态硬件的发展,同时也解决了在可穿戴设备和智能传感应用中实现机械灵活性与电气稳定性平衡这一关键问题。与传统的刚性忆阻器不同,那些制作在柔性基底上的器件即便在不同的环境下,也能保持稳定的双极电阻切换行为以及良好的均匀性

作者贡献说明

赵金石:概念构思、资金获取、项目管理、指导工作、论文撰写与修改。曹宇翔:数据整理、定量分析、论文初稿撰写。刘赫:项目管理、指导工作。董晨明:概念构思、实验研究。李春波:资源协调、结果验证。王迪:定量分析、资源协调、结果可视化。何林安:实验研究、结果验证、结果可视化。米伟:实验研究、方法设计、结果验证。周立伟:

利益冲突声明

作者声明,他们不存在任何可能影响本文研究结果的已知财务利益关系或个人关系。

致谢

本研究得到了京津冀自然科学基金合作项目(项目编号:25JJJJC0006)的支持
Jinshi Zhao|Yuxiang Cao|He Liu|Chenming Dong|Chunbo Li|Di Wang|Lin'an He|Wei Mi|Liwei Zhou
中国天津市天津工业大学集成电路科学与工程学院,教育部光电器件与通信技术工程研究中心,邮编30084
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