一种新型碳化硅非对称沟槽 MOSFET,集成 JFET 和双正向沟道,用于改善正向、反向和开关特性

《Microelectronics Journal》:A new SiC asymmetric trench MOSFET with integrated JFET and dual forward channels for improved forward, reverse, and switching characteristics

【字体: 大 中 小 】 时间:2026年09月01日 来源:Microelectronics Journal 2.2

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   摘要提出了一种新型碳化硅(SiC)非对称沟槽 MOSFET,名为 IJDC-ATMOS,其集成了常关型结型场效应晶体管(JFET)和双正向通道。在正向导通期间,侧壁沟槽 MOSFET 和额外的底部平面 MOSFET 形成两条并联电子路径,降低了比导通电阻(Ron,sp)。同时

  

摘要

提出了一种新型碳化硅(SiC)非对称沟槽 MOSFET,名为 IJDC-ATMOS,其集成了常关型结型场效应晶体管(JFET)和双正向通道。在正向导通期间,侧壁沟槽 MOSFET 和额外的底部平面 MOSFET 形成两条并联电子路径,降低了比导通电阻(Ron,sp)。同时,底部平面通道减少了栅漏重叠,从而降低了栅极 - 漏极电荷(QGD)和开关损耗。在反向导通期间,常关型 JFET 通道在低反向电压下开启,并在体二极管激活前提供单极电流路径,降低了反向导通电压(Vcut-in)并抑制双极性退化。TCAD 仿真结果表明,在 50 A/cm2下,IJDC-ATMOS 将 Vcut-in 从 2.82 V 降低至 1.76 V。与传统 ATMOS 相比,Ron,sp、QGD 和开关损耗分别降低了 32.1%、33.2% 和 47.1%,同时保持较低的 1.27 MV/cm 最大氧化层电场(Eox-max)。

引言

由于其超低导通电阻和优越的开关动力学特性,碳化硅(SiC)金属 - 氧化物 - 半导体场效应晶体管(MOSFET)被广泛认为是电力系统中极具前景的器件,是替代传统硅(Si)绝缘栅双极型晶体管(IGBTs)的理想候选者 [[1], [2], [3]]。商用分立 SiC MOSFET 主要根据其栅结构分为两类:平面栅 MOSFET 和沟槽栅 MOSFET [4]。与平面器件相比,沟槽设计具有更低的比导通电阻(Ron,sp)和更高的单元密度 [5,6]。由于这些内在优势,SiC 沟槽 MOSFET 在电动汽车、可再生能源系统、工业自动化和航空航天工业等应用中变得越来越受欢迎。
目前,最常见的商用沟槽 SiC MOSFET 设计是非对称沟槽和双沟槽架构 [7,8]。特别是,非对称沟槽 MOSFET(ATMOS)在工艺简单和低成本方面具有优势。部分环绕沟槽栅的 P 型井保护栅氧化层免受沟槽底部和角落处高电场的影响。通过将最大氧化层电场(Eox-max)保持在 3 MV/cm 以下,确保了长期可靠性 [9]。此外,该结构的小米勒电容(Crss 或 CGD)改善了开关控制并减少了动态损耗。然而,传统 ATMOS 由于屏蔽 P 型井牺牲了单元中的一条导电路径,这可能导致正向导通期间较高的 Ron,sp。
除了这种正向导通限制外,其第三象限导通行为仍然是另一个关键问题。SiC MOSFET 已被广泛应用于三相逆变器等电力电子系统中,这些系统通常需要第三象限操作来进行续流电流导通。在传统 ATMOS 中,通常使用固有体二极管作为续流路径。然而,主要缺点是 SiC 的宽禁带导致的高反向导通电压(Vcut-in),这限制了转换器效率 [10]。此外,SiC 器件中的双极性退化是一个严重的可靠性隐患,导致性能和长期稳定性的逐渐下降 [11,12]。
为了解决第三象限导通问题,人们投入大量精力开发新的 SiC MOSFET 结构。早期的方法采用外部肖特基势垒二极管(SBD)为反向电流提供续流路径 [13]。然而,这种解决方案不可避免地引入了额外的寄生电感和电容。为了克服这些限制,单片集成 SBD 或结势垒肖特基(JBS)结构已被纳入 SiC MOSFET 中 [[14], [15], [16], [17]]。尽管这些设计改善了反向导通,但肖特基接触的存在可能导致高温下的大漏电流(IBL),从而限制了高温可靠性 [18]。随后提出了异质结二极管集成 SiC MOSFET,以减少反向导通损耗同时抑制漏电流 [19,20]。然而,异质结接触的制造仍然具有技术挑战性。
另一种改善第三象限性能的有前景策略是集成 MOS 通道二极管(MCD)。通过调节通道势垒,MCD 可以降低 Vcut-in 并抑制体二极管导通 [[21], [22], [23]]。然而,低 MCD 势垒通常需要相对较薄的栅氧化层。因此,在反向阻断条件下,MCD 区域容易过早击穿,这会降低阻断能力并损害器件可靠性 [24]。相比之下,结型场效应晶体管(JFET)作为一种单极导通结构,也可以为 SiC MOSFET 中的第三象限电流提供续流路径 [25]。更重要的是,JFET 导电路径不依赖栅氧化层,从而避免了与不良 SiC/SiO2 界面质量相关的可靠性问题。
最近报道的具有额外集成导通通道的 ATMOS 设计主要集中在反向导通改进上,而综合性能提升,特别是正向导通电阻的降低,受到的关注较少。在本文中,提出了一种新型 SiC ATMOS,其具有集成的常关型结型场效应晶体管(JFET)和双正向导通通道(V-Ch 和 L-Ch),被称为 IJDC-ATMOS,并通过数值仿真分析了其性能。双导通路径 V-Ch 和 L-Ch 分别由垂直沟槽 MOS 通道和底部横向 MOS 通道形成。这些通道在正向导通期间提供并联电子路径,从而降低器件的 Ron,sp。此外,该结构改善了开关过程中的静电屏蔽,降低了栅极 - 漏极电荷(QGD)和整体开关损耗。JFET 通道结构集成在主双 MOS 通道的对面,远离沟槽栅。源金属延伸至底部 P 型井并与表面 P+ 区域接触,作为 JFET 栅极,改善了对 JFET 通道的控制。在第三象限操作期间,JFET 通道在低反向源漏电压(VSD)下实现单极导通,有效地使体二极管失活并消除双极性退化问题,而不影响其他器件性能。这种协同集成的 L-Ch/JFET 通道设计实现了对正向导通、反向恢复和开关性能的更全面优化。

章节片段

器件结构与机理

图 1(a) 和 (b) 分别显示了提出的 IJDC-ATMOS 和传统 ATMOS(C-ATMOS)的截面图 [26]。在两种器件中,底部和大部分沟槽侧壁都被重掺杂 P 型井环绕。这种配置有效地屏蔽了栅氧化层免受高电场的影响,从而确保了器件的长期可靠性。如图 1(b) 所示,C-ATMOS 沿沟槽侧壁具有单个垂直 MOS 通道(V-Ch),该

仿真结果与讨论

图 6 显示了 IJDC-ATMOS 和 C-ATMOS 在 VDS 为 5 V 时在线性和对数尺度下的转移特性曲线。定义阈值电压(Vth)为达到 1 mA/cm2漏电流(IDS)时的电压,提取的 IJDC-ATMOS 和 C-ATMOS 的 Vth 值分别为 4.83 V 和 4.94 V。图 7 说明了 C-ATMOS 和 IJDC-ATMOS 的第一和第三象限 I-V 特性以及它们的电流密度分布。在正向

结论

提出并验证了一种新型碳化硅(SiC)非对称沟槽 MOSFET(名为 IJDC-ATMOS),其集成了常关型 JFET 和双正向通道,使用 Sentaurus TCAD 进行验证。在正向导通期间,该器件利用侧壁沟槽通道和底部平面通道提供并联电子路径,这显著降低了 Ron,sp。同时,底部平面通道结构缩小了栅极和漏极之间的重叠区域,减少了 CGD

竞争利益声明

作者声明,他们没有已知的竞争性财务利益或个人关系可能影响本论文中报告的工作。

致谢

这项工作得到了 长三角科技创新共同体联合研究计划(编号 2023CSJG0600)、国家自然科学基金(62474049)、上海市科学技术委员会科技创新计划(编号 21DZ1100800 和 23ZR1405300)以及 国家重点研发计划(2023YFB4606300)的支持。
梁金松 | 丁承希 | 白兆鹏 | 马红平 | 张清春
复旦大学智能机器人与先进制造学院宽禁带半导体与未来照明研究所,上海,200433,中国
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