氟 -19 核磁共振波谱作为半导体制造中开发 PFAS 废物管理策略的强有力分析工具

《ACS Sustainable Chemistry & Engineering》：Fluorine-19 NMR Spectroscopy as a Strong Analytical Tool for the Development of PFAS Waste Management Strategies in Semiconductor Manufacturing

　　摘要全氟和多氟烷基物质（PFAS）是环境持久性、可迁移性和生物累积性化合物，已证实其具有毒性，通常与内分泌干扰、肝脏损伤、癌症和发育风险有关。半导体制造设施或晶圆厂在其部分设备组件和材料中依赖于 PFAS 的使用。光刻胶中的氟化光酸发生剂、抗反射涂层中的低折射率氟聚合物以及氟表面活性剂通常能增强光刻图案化性能。由于这些材料经常随晶圆厂废物流释放，它们为本文综述中评估的减排和表征需求提供了信息。在本文中，我们讨论了一维/二维核磁共振（NMR）方法、定量核磁共振（qNMR）、溶剂和内标的适当选择、晶圆厂中稀释样品的管理策略、PFAS 减排技术及其1?F NMR 影响，以及用于 PFAS 表征的综合分析方法。1?F NMR 是一种强大的工具，可提供非靶向和类别特异性分析，测量总有机氟，更重要的是，允许在处理前后对废物流进行快速筛选，从而提供针对晶圆厂的 PFAS 处理技术指南，并最终协助实现逐步淘汰含 PFAS 材料的长期目标。这些能力使得1?F NMR 成为晶圆厂中 PFAS 检测、定量和可持续废物管理的宝贵计量工具。此外，具有增强灵敏度的新型1?F NMR 方法可以进一步降低检测限，并允许对高度稀释的样品进行表征，这些样品通常与晶圆厂废物有关。支持信息：支持信息可免费获取，网址为 https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acssuschemeng.5c11782。关于 PFAS 定义、光刻释放、光刻胶以外的氟化材料以及1?F NMR 测试中溶剂和内标适当选择的更多信息 (DOCX)? 2026 作者。由美国化学学会出版