片上微波微流控材料表征测量的方法学指南与实践建议

《IEEE Journal of Microwaves》：Methodology and Analysis of Broadband On-Wafer Liquid Measurements

　　

摘要：

片上材料表征测量是确定液体样本宽带介电常数的最准确方法之一。然而，测量前的设计、制造、执行和校准需要大量的前期工作。目前没有可用的后处理商业软件，且支持这些测量校准和建模的算法实现起来并不简单。本工作旨在降低研究人员进行片上材料表征测量的学习曲线，并为那些想要进入该领域的人提供入门指南。它描述了方法学指南，并为传感器设计和制造及后处理方法提供了建议和参考。特别关注的是通过微流控通道流经微波结构上方的生物和化学液体的测量。本工作重点关注在标准温度和压力（STP）条件下，使用片上共面波导传输线传感器进行的 40 kHz 至 110 GHz 矢量网络分析仪测量。手持此指南，该领域的新研究人员将能够避免微波微流控测量中的几个关键陷阱，并以最少的设计迭代实现精确测量。