二维光子晶体在半导体面发射激光器中的实现

《IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics》：Two-Dimensional Photonic Crystal Implementation in Semiconductor Surface Emitting Lasers

　　

摘要：

我们报告了二维光子晶体在垂直腔面发射激光器 (VCSELs) 和光子晶体面发射激光器 (PCSELs) 中用于横向光模控制的实现。对于这两类半导体面发射激光器，需要高折射率对比度的周期性折射率图案来控制并限制横模，从而维持高亮度，特别是在光学腔体积增大时。文中讨论了将光子晶体蚀刻入 VCSEL 顶部分布式布拉格反射镜中，以在 850nm 处产生大于 5 mW 的单模输出。我们还报告了由二氧化硅 (SiO2) 低折射率区域组成并被高折射率外延砷化铟 (InP) 包围的埋入式介电光子晶体，使得 1.5μm 波长发射的光泵浦单模激射 PCSELs 成为可能。二维光子晶体显示出为高亮度半导体面发射激光器提供了一种通用且实用的光模控制手段。