减反射层对采用选定增材制造方法制造的球面元件在ASPECT光学测量中精度评估影响的分析

《Metrology》：Analysis of the Influence of the Anti-Reflective Layer on the Accuracy Assessment of Spherical Elements Manufactured by Selected Additive Methods in the ASPECT of Optical Measurements

　　**摘要**本文分析了防反射层对球面元件测量过程的影响，测量使用的是3D GOM（ATOS II Triple Scan；现属蔡司ZEISS）光学扫描仪，球面元件由四种增材制造方法制造：PolyJet建模（PJM）、数字光处理（DLP）、熔融挤出成型（MEM）和直接金属激光烧结（DMLS）。研究重点在于分析防反射层（AR）对数值数据变化以及对定义被测元件形状的差异的影响。研究发现，使用光固化树脂制成的模型（EC100（DLP）和RGD720（PJM））具有防反射层吸收特性，这影响了测量结果。使用防反射层还能增加光学扫描软件中用于研究模型形状分析的拟合球面的点数。防反射层的施加还会影响平均尺寸偏差（相对于MB1和MB2研究模型），其中对PJM和MEM方法制造的模型影响最为显著（约0.02 mm），对DMLS方法制造的模型影响最小（约0.004 mm）。本文开展的研究所呈现的测量结果、分析和结论，将有助于预测在使用3D GOM（ATOS II Triple Scan）对由特定材料制成的模型进行光学测量时，使用防反射层对测量过程和所获几何参数测量结果精度的影响。