一种低功耗、兼容CMOS工艺的NDR(非晶硅)器件,具备电流-电压双重控制机制、超高PVCR(光电转换效率)以及可调的双稳态特性

《Microelectronics Journal》:A Low-Power, CMOS-Compatible NDR Device with Current-Voltage Dual-Control, Ultra-High PVCR, and Tunable Bistable Characteristics

【字体: 大 中 小 】 时间:2026年09月19日 来源:Microelectronics Journal 2.2

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   摘要 本文介绍了一种采用UMC 0.18 μm标准互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺制造的电流-电压双控负差分电阻(NDR)器件。该器件由一个N沟道金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOS)和一个NPN双极结型晶体管(NPN BJT)组成。测试结果表明,在电流控制状态下,该器

  

摘要

本文介绍了一种采用UMC 0.18 μm标准互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺制造的电流-电压双控负差分电阻(NDR)器件。该器件由一个N沟道金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOS)和一个NPN双极结型晶体管(NPN BJT)组成。测试结果表明,在电流控制状态下,该器件具有宽可调的工作电流(从纳安到毫安)和明显的NDR特性,在低于0.3 V的低峰值电压下实现了1.9 × 1010的超高功率电压转换比(PVCR),同时功耗极低。此外,仿真结果显示,基极电阻在优化电压控制状态下的NDR性能中起着关键作用,并揭示了可调的双稳态特性,这对该器件在低功耗逻辑和存储应用中的前景非常有帮助。因此,该器件展现出了对未来低功耗逻辑、存储和神经形态应用具有显著优势的特性。

引言

负差分电阻(NDR)因其独特的电流-电压(I-V)特性而备受关注,这些特性可以简化电路架构并降低功耗[1], [2], [3], [4], [5]。除了在各种电子器件[6], [7], [8], [9], [10], [11], [12], [13]、数字逻辑[14], [15]和模拟电路[16], [17], [18]中的应用外,NDR也非常适合用于生物神经元功能的硬件级仿真和实现[19], [20], [21]。这种适用性尤为重要,因为模仿生物机制的神经形态计算被认为是通往下一代人工智能(AI)系统的有前景的方向[22], [23]。因此,开发高性能、低功耗的NDR器件已成为一个核心研究目标。
近年来,大多数NDR器件是通过将二维(2D)材料集成到异质结构中制造的[24], [25], [26], [27], [28]。尽管这些器件表现出优异且可调的NDR特性,但它们的PVCR通常较低,通常低于10。此外,其制造过程通常依赖于非标准工艺(例如异质集成[29]),这增加了制造成本和复杂性,降低了器件产量,并限制了高密度集成(例如在存储计算架构中的应用[30])。这些限制共同阻碍了它们的广泛应用。因此,使用标准工艺制造NDR器件已成为一个非常有吸引力的选择[31]。
与上述非标准工艺相比,标准CMOS工艺在成本、能效和适合大规模生产方面具有明显优势。尽管已在多项研究中证明了在标准CMOS技术中实现NDR器件的可行性[32], [33], [34], [35], [36], [37], [38],但报告的性能指标往往仍有限。例如,Yue等人[34]使用基于SiGe的栅极二极管在3 V时实现了300的最大PVCR,适用于SRAM电路。Chen等人[36]使用MOS晶体管制造了NDR器件,在1.6 V时获得了107的最大PVCR,适用于嵌入式存储。然而,这些基于CMOS的NDR器件的PVCR仍然相对较低,且最大PVCR通常仅在较高电压下才能实现,从而导致功耗增加[39]。因此,进一步探索在标准CMOS工艺中提高NDR器件的兼容性和性能的策略具有重要意义[40]。
此前,我们的团队使用UMC 0.18 μm标准CMOS工艺开发了一种新型NDR器件[41]。该器件通过调节第三端的偏置信号来调整峰值电压(Vpeak)、谷值电压(Vvalley)、峰值电流(Ipeak)和谷值电流(Ivalley)以及PVCR。在电压控制状态下,它在约0.4 V时实现了约0.23 pA的极低Ivalley和1.4 × 1010
为了扩大NDR器件的应用场景并在保持低功耗的同时进一步提高PVCR,本研究采用UMC 0.18 μm标准CMOS工艺开发了一种电流-电压双控NDR(CV-NDR)器件。在电流控制状态下(通过基极电流),该器件表现出高度可调的NDR特性,并在非常低的电压下实现了超高PVCR,其中Ipeak可以在从纳安到毫安的广泛范围内调节。在电压控制状态下(通过基极电压),通过改变基极电阻来调节NDR特性。此外,电压控制下的双稳态测试证明了该器件的可调双稳态行为和抗噪能力,证实了其在需要稳定双稳态操作的存储单元或逻辑电路等应用中的潜力。

章节片段

器件结构设计

CV-NDR器件的等效电路如图1(a)所示。它由一个NPN BJT作为主要晶体管和一个提供反馈的NMOS晶体管组成。该器件有三个端子:基极(B)、集电极(C)和发射极(E)。NMOS的栅极连接到NPN BJT的集电极,形成CV-NDR的C端子。NMOS的漏极与NPN BJT的基极并联,构成B端子。NPN BJT的发射极仍然是CV-NDR的E端子

实验结果与分析

图5(a)显示了CV-NDR器件芯片的显微图,蓝色虚线框标出了该器件。红色轮廓区域表示制造的CV-NDR器件,黄色矩形分别标识了B、C和E端口。所有电气测量均在室温(25 °C)下使用Keithley 4200半导体参数分析仪进行(如图5(b)所示)。测量设置采用了标准同轴电缆和适当的屏蔽措施以减少环境干扰

结论

为了提高NDR器件的PVCR,同时降低功耗并保持与CMOS工艺的兼容性,本文介绍了一种采用UMC 0.18 μm标准CMOS工艺制造的电流-电压双控NDR器件。实验结果表明,在基极电流控制下,该器件在低于0.3 V的Vpeak下实现了0.015 pA的低Ivalley和1.9 × 1010

作者贡献

所有作者均审阅了手稿。所有作者已批准手稿的最终版本。

致谢声明

概念构思:贾聪、刘书豪、杨越、吴斌。
数据整理:贾聪、刘书豪。
方法论:贾聪、刘书豪、吴斌。
验证:贾聪、杨越、吴斌、周思宇。
形式分析:贾聪、刘书豪、吴斌。
调查:贾聪、刘书豪、吴斌。
资源:贾聪、周思宇、余跃媛。
写作 – 初稿:贾聪、刘书豪。
写作 – 审稿与编辑:贾聪、杨越、余跃媛、吴斌。
监督:贾聪、杨越、吴斌。
项目管理:贾聪

利益冲突声明

作者声明他们没有已知的可能会影响本文所述工作的竞争性财务利益或个人关系。

致谢

本工作部分得到了国家自然科学基金(项目编号:62204168)和企业科学技术 Commissioner项目(项目编号:23YDTPJC00450)的支持。
贾聪 | 刘书豪 | 吴斌 | 杨越 | 周思宇 | 余跃媛天津城建大学计算机与信息工程学院,中国天津300384
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